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一篇文章读懂低压化学气相沉积（LPCVD） - NAURA创新

直观来讲，真空就是体积和温度不变的前提下气体密度的减少。 ... LPCVD广泛用于二氧化硅（LTO TEOS）、氮化硅（低应力）（Si3N4）、 ...

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