PECVD Si(OC2H5)4 (四乙氧基矽烷,TEOS), O2. LPCVD. TEOS. APCVD&SACVD. TM. TEOS, O3 (ozone). Oxynitride. SiH4, N2O, N2, NH3 ... 高密度電漿CVD ...
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