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LS-CVD | 莎姆克

... 高密度的絕緣膜。沉積SiO2膜通常使用SiH4，但是由於其具有毒性和爆炸性所以並不安全。莎姆克為了解決安全性的問題，超過20年來持續使用液態源（TEOS）來取代SiH4。

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