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微光電實驗室 機台介紹：蝕刻類機台 - 國立中央大學光電科學 ...

儀器功用：化合物半導體乾性蝕刻; 財產編號：3070114-003-0002 ... Deposition Films：SiO2、TEOS-SiO2 、Si3N4; Deposition Rate：SiO2 (≧ 50 nm/min.) ...

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