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usg psg 半導體化學氣相沉積 - Zxmy

半導體 製程技術 · PDF 檔案半導體製程技術STI USG 多晶矽光阻閘極光罩PE-TEOS PSG 薄膜， HDP-CVD or SACVD. It's most common as an insulator and passivation layer ...

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