嚴大任助理教授. 國立清華大學材料科學工程學系. 化學機械研磨機(CMP). ▫ 儀器功能:. ▫ 研磨各種氧化矽. (SiO2,TEOS-. Oxide,PECVD-. Oxide,BPSG). ▫ 重要規格:.
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