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硼磷矽玻璃 - 中文百科知識

因此，BPSG薄膜在先進的半導體器件尤其是DRAM產品中主要作為PMD薄膜被廣泛套用。 ... 製備SA-BPSG薄膜的原料主要有以下幾種液體及氣體：TEOS、TEB以及TEPO，他們在常溫 ...

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