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東海大學環境科學研究所碩士論文積體電路晶圓製造工業水資源 ...

TEOS ︰Tetra-ethyl-ortho-silicate. ... 半導體工業中以積體電路晶圓製造的過程最為繁複，所使用 ... HFCs)在半導體工業的用途，是加入電漿製程(Plasma Process).

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