1.試樣製作:特別是透射式電鏡(TEM)及掃描式電鏡(SEM)試樣製作;圖5為TEM樣品製備使用FIBlift-off的過程介紹 · 2.精准缺陷及制程工藝切片:精准度可應用於5nm以下的先進制程 ...
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