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SECS/GEM 介紹 - ITRI SECS/GEM - 工業技術研究院

... 資料、改變製程參數和選擇配方，SECS/GEM標準詳細定義了如何達成上述工作[wiki]。 ... HSMS(High-Speed SECS Message Services)在TCP/IP的基礎上透過Ethernet進行 ...

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