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TWI381452B - 用於擴大溫度高溫測定之方法與設備

在溫度T W時，厚度為χ的矽晶圓其透射率τ可以下式表示： 其中α為矽在波長λ和溫度T W時的吸收係數。 ... 線156為以穿透式高溫計與上述之對照表合併使用所得之晶圓溫度。

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