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在AWS 上扩展Synopsys Proteus 光学近似修正

简介. 光刻是半导体芯片制造的一个关键步骤。光刻的工作原理是将光（激光）通过图案（掩膜）照射到带有光敏涂层（抗蚀剂）的硅晶片上。

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