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CO2雷射低溫熱處理鋯鈦酸鉛鐵電薄膜於不鏽鋼基板之電性研究

研究結果顯示PZT/LSMO/SUS316鐵電結構元件，經過高溫長時間的傳統爐內退火熱處理， ... 電解拋光後之PZT/LSMO/SUS316線狀結構，再使用雷射功率59W/cm2_45s照射下， ...

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