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晶圆制造工艺流程 - 华林科纳半导体设备有限公司

何谓IPA Vapor Dryer. 答：利用IPA(异丙醇)和水共溶原理将晶圆表面的水份去除. 测Particle时,使用何种测量仪器? 答：Tencor Surfscan. 测蚀刻速率时,使用何者量测仪器?

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