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KLA、先端半導体の歩留まり向上を可能とするウェハ検査装置 ...

KLAの回路パターン無しウェハ表面欠陥検査装置「Surfscan SP7 XP 」(右)と 回路パターン付きウェハ形状計測システム「PWG5」(左) (出所:KLA Webサイト) ...

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