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KLA-Tencor发布VoyagerTM 1015和Surfscan® SP7缺陷检测系统

Surfscan ? SP7系统为裸片晶圆、平滑和粗糙的薄膜提供了前所未有的缺陷检测灵敏度，这对于制造用于7nm节点逻辑和高级内存元件的硅衬底非常重要，同时也是在芯片制造中 ...

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