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晶圓製程對位量測機Overlay chek - CXsemi 承湘科技

原理 :藉由可見光來量測樣本 *解析度:0.055um@100x ,0.11um@50x,0.275um@20X ,0.55um@10x *晶圓尺寸:2” ~12” *功能 1.自動傳送 2.自動對焦 3.粗對位 4.細對位

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