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SUB-FAB端監診 - 固德科技

Sub -Fab指半導體業附屬製造無塵室，在半導體製程設備裡，常會用到Dry pump製造真空環境。如蝕刻技術，蝕刻設備主要分濕蝕刻（液體）與乾蝕刻（氣體），為了增加蝕刻的 ...

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