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N2 Wafer Stocker 倉儲系統 - 東捷科技股份有限公司

人車分道○ 串接AMHS系統，可即時自動盤點○ 管控氧氣與氮氣環境○ 產品與梭車同步搬運○ 符合SEMI S2/S8/S10 標準○ 地震監控，地震強度≥4 級立即停止移載.

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