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絕緣層上矽分析及應用
有太大的差異,除了製程一開始選用的晶圓有所不同外,傳統金氧半元件的製程技術都可以沿用到絕緣. 層上覆矽金氧半元件(Silicon on Insulator,SOI)的製程。
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淺溝槽隔離shallow trench isolation sti技術與製作流程
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