STI製程 和CVD氧化物溝槽之填充被接著發展. 出來. 6 ... STI: 氮化矽、氧化矽及矽之蝕刻,光阻剝除. P型磊晶層. ... Shallow trench isolation (STI). Vss. Vdd. NMOS. PMOS.
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