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半導體製程技術 - 聯合大學

和全區覆蓋式氧化層比較. ▫ 較好的絕緣效果. ▫ 表面台階高度較低. ▫ 側壁坡度較小. ▫ 缺點. ▫ 表面粗糙的拓璞. ▫ 鳥嘴. ▫ 被淺溝槽絕緣取代(STI) ...

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