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綠色半導體晶圓廠創新型精確環境設計與解決無塵室污染物之移 ...
STI 型式機台氯離子濃度已經偏高許多,因此立即. 通知該區設備與製程人員,成立跨部門的合作,討. 論如何解決機台端發生洩漏影響至環境而造成. AMC 氯離子偏高的問題。
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