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諾發SPEED MAX高密度電漿輔助氣相沉積充填薄膜系統擴展應用

此一製程同時也能可滿足嚴格的STI邏輯應用的整合上需求和量產製造的必要條件。 諾發系統(NOVELLUS)公布他已經開發出一種製造工藝來延伸公司的SPEED ...

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