淺溝渠隔離(Shallow trench isolation, STI)是. CMOS 技術中很重要的關鍵關鍵製程,其目的為用來隔離電晶體彼此的連接。雖. 然STI 只是拿來當作被動絕緣,但當元件尺寸不斷 ...
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