晶邊清洗可在製程步驟之間把晶圓邊緣上不要的罩幕(mask)、殘留物和薄膜去除。 ... 淺溝槽隔離(STI)、閘極、中段(MOL)、以及後段(back-of-line)製程的蝕刻後處理 ...
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