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第一章緒論 - CHUR

晶片（test wafer），利用類神經網路模擬，找出最佳之製程參數，. 將可大幅降低實驗所花費之時間與 ... 形成淺溝槽絕緣（STI），以及從晶圓表面移除大量的金屬薄膜以.

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