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5 Thermal Processes

說明在高溫爐下RTP(快速加熱製程)的優 ... 之製程. • 使用在front-end 半導體製程，通常在稱. 做擴散爐的高溫爐中 ... 在STI 製程下的襯墊氧化層和阻擋氧化層. Nitride.

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