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CMP设备制造商华清海科科创板上市，百元新股开盘大涨80%

自从 1988 年 IBM 公司将 CMP 技术应用于 4M DRAM 芯片的制造，集成电路 ... 广泛采用，CMP 的研磨对象主要是铜互连层、绝缘膜和浅沟槽隔离（STI）。

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