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stepper aligner差異
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前言 - IC智库/微电子/半导体/集成电路/芯片
差异 主要是由于轻掺杂的集电极和重掺杂的发射极互换而引起发射区注入效率的急剧下降 ... 图上的这种装置称为对准器aligner ,因为它必须确保光掩模版上的图形和晶片上.
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