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2009 四月刊 - 台灣大學光電所

... 可處理4~6吋晶圓的高級機台，包括數台電子束微影系統、KrF Stepper（ ... 此次實驗室參訪實讓我體驗到韓國的研究環境及研究精神與臺灣的差異處。

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