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三星终于拿到芯片大单?显然,光刻机已不是救命稻草 - 搜狗搜索
光刻机(Mask Aligner)是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键 ... 圆;另一种是利用类似投影机原理的stepper,获得比模板更小的曝光图样。
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