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[12] 发明专利说明书

所欲保护区域接受掺杂物,因而基板的电气特性可随部位不同而有差异。 ... 预编码图案根据使用的掩膜配合步进器(Stepper) 或掩膜调准器. (Aligner)投影至晶圆上。

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