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半导体行业的真空镀膜- 德仪科技

所以搭配使用之硅晶圆曝光机台为一般的「光罩对准机」(mask aligner，如图2-7)。 ... 所以工业界多采用步进机（stepper）进行对准曝光；也就是说，即使晶圆大到6或8 ...

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