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半导体FAB里基本的常识简介-精华版 - 百度文库

Stepper 与Project aligner 原理类似，只是将每片芯片分为20~60 次曝光完成。 ... 方法：在不同真空，气体流动的形式与传导性等均有所差异，，简略而 ...

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