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ChipChina:IC制造光刻机的发展趋势和技术挑战 - 半导体芯科技
我们可以发现光刻机的称谓发生了有趣的转变,从photo-repeater、Aligner、Stepper到Scanner。随着光源波长的减小光刻机迎来更新换代,同时在实现更高 ...
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