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stepper aligner差異
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一文讀懂Fan-out面臨的未來挑戰_半導體行業觀察
對於封裝,主流的光刻工具是掩模對準器(mask aligner)和stepper 。 ... 晶圓或面板的不同,關於高級封裝中更小几何尺寸的主要問題也是有差異的。
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