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半導體設備精密對位技術 - 機械工業網

摘要：半導體設備以晶圓疊對與光罩多重曝光製程需求，其晶片座標的重覆定位需要極為精密的對位技術。 ... 半導體設備應用精密對位技術以晶圓接合機與曝光機為首。

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