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圖案化介電材料在先進構裝之發展趨勢(下)

在微影工藝中，為了實現較好的解析度，使用「步進(Stepper)」型曝光機進行FOWLP重分布層圖案化，但是其成本高昂，製造商面臨降低價格的強大壓力。

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