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微影技術的極限與超微結構物製程之探討

有機物光阻的曝光與化學顯影(Development)兩. 大過程)。 ... 在微影的曝光技術上,曝光機所能達到 ... 更短波長的步進機. (Stepper)來滿足0.25um以下元件微影製程的要.

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