你即將離開本站

並前往http://ir.lib.isu.edu.tw/retrieve/91111/etd-0703108-222514.pdf

義守大學工業工程與管理學系

曝光的關鍵設備是步進機(Stepper)又俗稱曝光機。當晶圓表面塗上光阻及軟烤後，. 步進機即進行對準和曝光。塗有光阻之晶圓自動地載入步進機之晶圓階台。晶圓於此機.

確定！ 回上一頁

查詢 「stepper曝光機」的人也找了：

  1. 步進式曝光機原理
    2.
  2. Stepper scanner
    3.
  3. euv曝光機
    4.
  4. 掃描式曝光機原理
    5.
  5. 曝光機廠商
    6.
  6. 光刻機台灣
    7.
  7. asml曝光機
    8.
  8. 曝光機台灣
    9.