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光刻機/紫外曝光機(Mask Aligner) 又名 - 華人百科

步進重復投影曝光(Stepping-repeating Project Printing或稱作Stepper)。80年代末~90年代，0.35μm(I line)~0.25μm(DUV)。掩膜板縮小比例(4:1)， ...

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