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第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏

亦稱為步進式曝光，而執行此種步進且重複曝光方式的曝光機稱為步進機. （Stepper）。 圖2.8 倍縮投影步進機. 五、曝光後烘烤：以90℃到130℃的溫度烘烤晶圓，目的在重新 ...

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