步進式曝光機(Stepper). ‧最小解析度0.7 um. ‧對位精度1 um. ☆ 光罩對位曝光機(Aligner). ‧最小解析度2 um. ‧對位精度2 um. ☆ 自動旋轉塗佈機(Track).
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