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光刻机之战_Stepper - 手机搜狐网

光刻机的原理其实像幻灯机一样简单，就是把光通过带电路图的掩膜( Mask，后来也叫光罩) 投影到涂有光敏胶的晶圆上。早期60 年代的光刻，掩膜版是1:1 ...

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