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光刻机(制造集成电路的关键设备)_搜狗百科 - Sogou Baike

其分为两种，一种是模板与图样大小一致的contact aligner，曝光时模板紧贴晶圆；另一种是利用短波长激光和类似投影机原理的步进式光刻机（stepper）或扫描式光刻 ...

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