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半導體解密：ASML光刻機憑什麼能一廠獨大？台積電總能買到 ...

可以分為兩種，分別是模板與圖樣大小一致的contact aligner，曝光時模板緊貼晶圓；以及利用短波長雷射和類似投影機原理的步進式曝光機（英語：stepper）或 ...

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