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晶圓的處理－薄膜

樣品以對流方式加熱. • 產率大. • 沉積膜階梯覆蓋（step. • 沉積膜階梯覆蓋（step coverage）效果差，不夠精細. • 主要用於低溫氧化物的沉積. 要用於低氧化物的沉積 ...

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