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碳化矽塗層於半導體與光電產業之應用 - 材料世界網

SiC塗層具備高度的化學穩定性和抗氧化性，可以應用於LED載盤、半導體 ... 得到之磊晶結果的PL圖譜STD為1.96%，與國外所製作之載盤其磊晶之PL圖接近。

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