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淺槽隔離 - 中文百科全書

淺槽隔離(Shallow Trench Isolation；STI)技術製作主動區域之間的絕緣結構已逐漸被普遍採用。STI結構的形成通常是先在半導體基底上沉積一層氮化矽層，然後圖案化此氮化矽層 ...

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